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成像分析

中禹联重检测技术中心隶属于上海禹重实业有限公司,作为面向21世纪专业的材料分析服务机构,为各行业及终端用户提供高价值专业分析和测试咨询服务,以及第三方的产品验证。在冶金、建筑、矿山、地质、环境、机械、化工、电子电气、石油、生物、制药、医疗、纺织、食品和农业等众多领域,我们与瑞士通标(SGS)、美国EAG、上海材料研究所测试中心和钢研检测中心等权威检测单位开展广泛而持久的合作关系。

UZonglab是您在新产品新材料开发、制程监控、品质控制、失效分析中不可缺少的合作伙伴。禹重科技的材料分析专家具有广泛的专业知识,让客户能够充分理解现有分析技术的范围,以及性能极限。您完全可以相信我们的技术并帮助您改善产品的性能、提升成品良率、缩短研发时间、降低生产成本、解决问题达到预期的效果。

成像/投影
在其最简单的形式中,成像分析主要是利用显微镜方法来聚焦表面(包括光学和电子)。分析提供的信息会受到所使用的仪器能力的限制。在此分析类型中主要采用的分析技术是扫描式电子显微镜(SEM)。

元素、无机物或者分子种类的横向分配(例如位置)可以使用以下方法来测量:

  • 电子束技术:SEM,EDS和Auger
  • 离子束技术:TOF-SIMS和FIB

这些方法提供了地图或图像来显示不同种类元素的相对位置,相关的功能,缺陷,颗粒等的有用信息。

也可以使用其他的技术来获得图像:

  • Raman测量分子振动,并且提供有关官能基、碳类型和压力/应力的信息。
  • AFM提供表面粗糙的图像、硬度和磁性成像。
  • XPS提供元素和化学映像。
  • 光学轮廓测定可以产生表面的三维成像,三维测量或特定功能的成像。

在一个规模较大的晶圆映像到300mm,LEXES可以用于映射掺杂、薄膜成分和杂质;XRR/XRF可以用于映像膜的厚度和密度;TXRF可以用于映像元素污染物。

主要分析技术

  • Auger
  • EDS
  • FIB
  • LEXES
  • SEM
  • TOF-SIMS
  • XRF
  • XRR

其他分析技术

  • AFM
  • Raman
  • XPS